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超精密光學技術
超精密機械結構/機構設計

對于光刻投影物鏡等精密光學系統,需要利用機械結構對光學鏡片進行精確空間定位與高精度面形支撐,並通過運動機構實現特定光學元件的精密空間位置調節,以滿足物鏡系統集成裝調需求及在線功能性補償需求。

針對IC光刻投影物鏡研發工作,團隊先後突破了超精密單鏡結構設計與高精度膠合集成技術、高精度大口徑曲面光闌設計技術、超精密軸向與偏心調節機構設計與制造技術、超精密六自由度調節機構設計與加工技術。光學元件集成後面形精度優于1nm(RMS),調節機構調整精度優于20nm。 

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元件支撑后的面形(0.8nm RMS)                         超精密調節機構及其測量裝置