秋霞电影网

超精密光學技術
超精密光機系統集成與裝調

超精密光機系統集成與裝調是精密光学系统研制的核心关键技术之一。对于IC光刻投影物镜,光学元件装配间隔误差、偏心误差需控制在±1μm以内。在此基础上,通过计算机辅助装调及系统级元件精修,最终达到波像差、畸变等像质指标。

團隊基于光刻投影物鏡超精密光學系統集成與裝調技術攻關,建立了一整套精密光學系統的裝配、測試、像質補償流程,並能夠通過綜合優化,有效降低光學系統的制造成本。利用已有超精密光學系統裝配技術及研發的高精度裝配設備與工裝,能夠實現亞微米精度的位置公差測試和裝配。

超精密光學系統像質補償技術方面,針對國內首套NA0.75-ArF光刻投影物鏡研制,依賴于精確的光學系統測量技術體系,充分發揮光學系統的補償手段,在有效控制超高精度光學系統制造難度與成本的基礎上,最終實現了物鏡系統全視場平均波像差優于4nm,全視場平均畸變優于5.7nm的核心指標。

目前团队拥有健全的光学系统测试与装配仪器、装备,涵盖传递函数测试、应力双折射测试、激光光谱测试、镜片厚度测试、镜片位置测试与装调、材料均匀性测试、物镜系统波像差测试。配套满足超精密装配需求的无尘室,洁净度等级最高达到100级(ISO CLASS 5),温度稳定性最高达到±0.02℃,精密隔振系统能够将振动水平控制在VC-E水平,能够全面支撑超精密光学系统的集成、装调与测试。